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分辨率是指陀螺仪能检测的最小角速度，该参数与零角速度输出其实是由陀螺仪的白噪声决定。这三个参数主要说明了该陀螺仪的内部性能和抗干扰能力。对使用者而言，灵敏度更具有实际的选择意义。测量范围是指陀螺仪能够测量的最大角速度。不同的应用场合对陀螺仪的各种性能指标有不同的要求。
MEMS陀螺仪的重要参数包括：分辨率(Resolution)、零角速度输出(零位输出)、灵敏度(Sensitivity)和测量范围。这些参数是评判MEMS陀螺仪性能好坏的重要标志，同时也决定陀螺仪的应用环境。
微机械陀螺仪用于测量汽车的旋转速度(转弯或者打滚)，它与低加速度计一起构成主动控制系统。所谓主动控制系统就是一旦发现汽车的状态异常，系统在车祸尚未发生时及时纠正这个异常状态或者正确应对个异常状态以阻止车祸的发生。比如在转弯时，系统通过陀螺仪测量角速度就知道方向盘打得过多还是不够，主动在内侧或者外侧车轮上加上适当的刹车以防止汽车脱离车道。现在这种系统主要安装于高端汽车上。
近日，赛微电子在接受机构调研时表示，近年来，公司MEMS工艺开发与晶圆代工产能一直比较紧张，订单排期较长，从芯片晶圆单价的计算结果来看，近几年，单片晶圆价格的上涨是持续且快速的，2017-2020年公司MEMS晶圆的平均售价分别约为1700美元/片、1800美元/片、2200美元/片及2700美元/片，2021年上半年平均售价上涨至约为3600美元/片。不同领域MEMS芯片晶圆价格存在较大差异。但随着瑞典FAB1&2晶圆制造产能的小幅提高，北京FAB3规模产能的陆续释放，未来公司MEMS芯片晶圆的平均售价可能将出现下降，但预计仍可保证正常的半导体代工毛利水平。据了解，赛微电子晶圆价格是根据具体的合作背景，基于特定用户、特定订
ST第三代技术提高准确度和能效附加功能包括边缘机器学习和静电感测2022年3月4日，中国– 服务多重电子应用领域、全球排名前列的半导体公司意法半导体(STMicroelectronics，简称ST) 推出其第三代MEMS传感器。新一代传感器助力消费类移动产品、智能工业、智能医疗和智能零售产品实现性能和功能新飞跃。MEMS 技术实现是稳健可靠的芯片级运动和环境传感器的基础技术，今天的智能手机和可穿戴设备依靠MEMS传感器实现直观的环境感知功能。现在，意法半导体新一代 MEMS 传感器将性能提升到了一个新的水平，输出数据准确度和功耗都突破了现有技术限制。新传感器可让活动检测、室内导航、精密工业感测等产品功能具有更高的测量准确度。同时，新
目前在汽车MEMS市场，压力计和加速度计还是占较大份额，(图十四)但是随着对汽车安全性能要求越来越高，尤其是在北美和欧洲稳定性主控系统的安装率节节攀升，陀螺仪的市场增长率明显比前两类要快，在2011年预期达到10%。
联发科25日晚间公告，将以不超过30亿元新台币（下同），以策略性投资人身分，通过两家子公司参与MEMS麦克风厂商钰太的私募案，联发科将成为钰太最大股东。公告显示，联发科拟通过旗下达旭投资与联发资本参与钰太私募，预计应募1万张，每股价格不超过300元，投入金额最高不超过30亿元。据了解，未来联发科持有钰太股权约18.6％左右，也将取得钰太两席董事。联发科代子公司公告中提到，投资着眼于音频相关人机接口、音频处理技术的应用与市场机会。钰太是MEMS麦克风厂商，在NB领域的数字MEMS麦克风（
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